Vliv energie iontů na vlastnosti tvrdých, reaktivně naprašovaných Ti(Fe)Nx vrstev

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F04%3A00000267" target="_blank" >RIV/49777513:23520/04:00000267 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Effect of ion bombardment on properties of hard reactively sputtered Ti(Fe)Nx films
Popis výsledku v původním jazyce
This article reports on results of systematic investigation of properties of hard Ti(Fe)Nx films reactively sputtered using a d.c. unbalanced magnetron. The Ti(Fe)Nx films with a low Fe content were selected as typical single-phase material to investigat
Název v anglickém jazyce
Effect of ion bombardment on properties of hard reactively sputtered Ti(Fe)Nx films
Popis výsledku anglicky
This article reports on results of systematic investigation of properties of hard Ti(Fe)Nx films reactively sputtered using a d.c. unbalanced magnetron. The Ti(Fe)Nx films with a low Fe content were selected as typical single-phase material to investigat

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/ME%20529" target="_blank" >ME 529: Nanostrukturní tenké vrstvy</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2004
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)