Structure and mechanical properties of magnetron sputtered Zr-Si-N films with a high Si content

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F03%3A00000133" target="_blank" >RIV/49777513:23520/03:00000133 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Structure and mechanical properties of magnetron sputtered Zr-Si-N films with a high Si content

Popis výsledku v původním jazyce

The Zr-Si-N films were deposited using unbalanced dc reactive magnetron sputtering of an alloyed ZrSi2 target, in a mixture of argon and nitrogen, onto steel and silicon substrates. Thisarticle reports on the investigation of film structure, chemical composition and mechanical properties of Zr-Si-N films with a high Si content as a function of partial pressure of nitrogen pN2, discharge current ID and substrate temperature TS. Residual stress of the films was evaluated by measuring a change of the curvature induced in the silicon substrate.

Název v anglickém jazyce

Structure and mechanical properties of magnetron sputtered Zr-Si-N films with a high Si content

Popis výsledku anglicky

The Zr-Si-N films were deposited using unbalanced dc reactive magnetron sputtering of an alloyed ZrSi2 target, in a mixture of argon and nitrogen, onto steel and silicon substrates. Thisarticle reports on the investigation of film structure, chemical composition and mechanical properties of Zr-Si-N films with a high Si content as a function of partial pressure of nitrogen pN2, discharge current ID and substrate temperature TS. Residual stress of the films was evaluated by measuring a change of the curvature induced in the silicon substrate.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/ME%20529" target="_blank" >ME 529: Nanostrukturní tenké vrstvy</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

JUNIORMAT '03

ISBN

80-214-2462-1

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

34-37

Název nakladatele

University of Technology

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

23. 9. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—