Charakterizace iontových toků ve vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojích

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F07%3A00000061" target="_blank" >RIV/49777513:23520/07:00000061 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Ion flux characteristics in high-power pulsed magnetron sputtering discharges

Popis výsledku v původním jazyce

High-power pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering of copper films were investigated. The repetition frequency was 1kHz at a fixed 20% duty cycle and argon pressures of 0.5Pa and 5Pa. Time evolutions of the discharge characteristics were measured at a target power density in a pulse up to 950W/cm2. Time-averaged mass spectroscopy was performed at substrate positions. It was shown that copper ions are strongly dominant in total ion fluxes onto the substrate. Their energy distributions with a broadened low-energy part at a lower pressure are extended to higher energies (up to 45eV relative to ground potential for the target-to-substrate distance of 100mm).

Název v anglickém jazyce

Ion flux characteristics in high-power pulsed magnetron sputtering discharges

Popis výsledku anglicky

High-power pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering of copper films were investigated. The repetition frequency was 1kHz at a fixed 20% duty cycle and argon pressures of 0.5Pa and 5Pa. Time evolutions of the discharge characteristics were measured at a target power density in a pulse up to 950W/cm2. Time-averaged mass spectroscopy was performed at substrate positions. It was shown that copper ions are strongly dominant in total ion fluxes onto the substrate. Their energy distributions with a broadened low-energy part at a lower pressure are extended to higher energies (up to 45eV relative to ground potential for the target-to-substrate distance of 100mm).

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Europhysics Letters

ISSN

0295-5075

e-ISSN

—

Svazek periodika

—

Číslo periodika v rámci svazku

—

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—