Vliv složení plynné směsi na vysokoteplotní chování vrstev systému Si-B-C-N

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F08%3A00500721" target="_blank" >RIV/49777513:23520/08:00500721 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Effect of the gas mixture composition on high-temperature behavior of magnetron sputtered Si-B-C-N coatings

Popis výsledku v původním jazyce

The effect of the gas mixture composition on the high-temperature behavior of amorphous Si-B-C-N coatings was systematically investigated up to 1700 °C in a flowing air and inert gases. The Si-B-C-N coatings were deposited by reactive dc magnetron co-sputtering using a single B4C-Si target in two nitrogen-argon gas mixtures (50% N2+50% Ar or 25% N2+75% Ar). It was found that the Ar fraction in the gas mixture determines an important N/(Si+B+C) concentration ratio in the coatings, and hence their high-temperature behavior. The coating prepared with a 50% Ar fraction exhibits extremely high oxidation resistance up to 1400 °C and very high oxidation resistance up to 1600 °C in air, and extremely high thermal stability up to 1600 °C in inert gases.

Název v anglickém jazyce

Effect of the gas mixture composition on high-temperature behavior of magnetron sputtered Si-B-C-N coatings

Popis výsledku anglicky

The effect of the gas mixture composition on the high-temperature behavior of amorphous Si-B-C-N coatings was systematically investigated up to 1700 °C in a flowing air and inert gases. The Si-B-C-N coatings were deposited by reactive dc magnetron co-sputtering using a single B4C-Si target in two nitrogen-argon gas mixtures (50% N2+50% Ar or 25% N2+75% Ar). It was found that the Ar fraction in the gas mixture determines an important N/(Si+B+C) concentration ratio in the coatings, and hence their high-temperature behavior. The coating prepared with a 50% Ar fraction exhibits extremely high oxidation resistance up to 1400 °C and very high oxidation resistance up to 1600 °C in air, and extremely high thermal stability up to 1600 °C in inert gases.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Svazek periodika

—

Číslo periodika v rámci svazku

203

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000261654100014

EID výsledku v databázi Scopus

—