Mechanical and tribological properties of Sn-Cu-O films prepared by reactive magnetron sputterting

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F14%3A43921471" target="_blank" >RIV/49777513:23520/14:43921471 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1116/1.4859275" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1116/1.4859275</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1116/1.4859275" target="_blank" >10.1116/1.4859275</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Mechanical and tribological properties of Sn-Cu-O films prepared by reactive magnetron sputterting

Popis výsledku v původním jazyce

Tin-copper-oxide (Sn-Cu-O) thin films were deposited onto Si (100) substrates by reactive magnetron sputtering in an argon-oxygen atmosphere. The effect of the substrate temperature and the amount of Cu in the Sn-Cu-O films on its mechanical and tribological properties was investigated in detail. The most important result of the investigation reported is the finding that the knowledge of interrelationships between the mechanical and tribological properties of films makes it possible to optimize their tribological properties and to prepare Sn-Cu-O films with minimum values of the coefficient of friction and wear rate.

Název v anglickém jazyce

Mechanical and tribological properties of Sn-Cu-O films prepared by reactive magnetron sputterting

Popis výsledku anglicky

Tin-copper-oxide (Sn-Cu-O) thin films were deposited onto Si (100) substrates by reactive magnetron sputtering in an argon-oxygen atmosphere. The effect of the substrate temperature and the amount of Cu in the Sn-Cu-O films on its mechanical and tribological properties was investigated in detail. The most important result of the investigation reported is the finding that the knowledge of interrelationships between the mechanical and tribological properties of films makes it possible to optimize their tribological properties and to prepare Sn-Cu-O films with minimum values of the coefficient of friction and wear rate.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GAP108%2F12%2F0393" target="_blank" >GAP108/12/0393: Tvrdé nanokompozitní vrstvy se zvýšenou houževnatostí a unikátními vlastnostmi</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2014

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Vacuum Science and Technology A

ISSN

0734-2101

e-ISSN

—

Svazek periodika

32

Číslo periodika v rámci svazku

2

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

021504-1-021504-6

Kód UT WoS článku

000335964200045

EID výsledku v databázi Scopus

—