Reactive HiPIMS deposition of Al-oxide thin films using W-alloyed Al targets

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F21%3A43962206" target="_blank" >RIV/49777513:23520/21:43962206 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2021.127467" target="_blank" >https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2021.127467</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2021.127467" target="_blank" >10.1016/j.surfcoat.2021.127467</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Reactive HiPIMS deposition of Al-oxide thin films using W-alloyed Al targets

Popis výsledku v původním jazyce

We investigated in detail the influence of 2 at.% tungsten in the Al-target on the process stability and phase formation during reactive DC magnetron sputtering as well as high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) of Al2O3-based coatings. The small addition of W to the Al target allows to increase the oxygen partial pressure by more than 200% while maintaining a stable deposition process. Ion mass spectroscopy measurements yield a promising high fraction of oxygen ions, when operating the W-containing target in the metal-to-poisoned transition mode. Detailed electron microscopy investigations show the presence of metallic phase fractions for higher duty cycles (7.5%). Decreasing the duty cycle to 3.75% leads to amorphous coatings when operating the Al-target at the highest oxygen partial pressure in metallic mode.

Název v anglickém jazyce

Reactive HiPIMS deposition of Al-oxide thin films using W-alloyed Al targets

Popis výsledku anglicky

We investigated in detail the influence of 2 at.% tungsten in the Al-target on the process stability and phase formation during reactive DC magnetron sputtering as well as high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) of Al2O3-based coatings. The small addition of W to the Al target allows to increase the oxygen partial pressure by more than 200% while maintaining a stable deposition process. Ion mass spectroscopy measurements yield a promising high fraction of oxygen ions, when operating the W-containing target in the metal-to-poisoned transition mode. Detailed electron microscopy investigations show the presence of metallic phase fractions for higher duty cycles (7.5%). Decreasing the duty cycle to 3.75% leads to amorphous coatings when operating the Al-target at the highest oxygen partial pressure in metallic mode.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

20506 - Coating and films

Projekt

<a href="/cs/project/EF17_048%2F0007267" target="_blank" >EF17_048/0007267: VaV inteligentních komponent pokročilých technologií pro plzeňskou metropolitní oblast</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2021

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Svazek periodika

422

Číslo periodika v rámci svazku

25 SEP 2021

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

10

Strana od-do

"127467-1"-"127467-10"

Kód UT WoS článku

000685607200028

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85110752168