Time-averaged and time-resolved ion fluxes related to reactive HiPIMS deposition of Ti–Al–N films
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F21%3A43962326" target="_blank" >RIV/49777513:23520/21:43962326 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2021.127638" target="_blank" >https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2021.127638</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2021.127638" target="_blank" >10.1016/j.surfcoat.2021.127638</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Time-averaged and time-resolved ion fluxes related to reactive HiPIMS deposition of Ti–Al–N films
Popis výsledku v původním jazyce
Time-averaged and time-resolved ion fluxes during reactive HiPIMS deposition of Ti–Al–N thin films are thoroughly investigated for the usage of Ti–Al composite targets. Ion mass spectroscopy analysis revealed, that increasing Al content in the target material or reducing the N2 flow-rate ratio leads to a proportional increase of the Al+-ion count fraction. The deposition conditions allowed for the growth of cubic Ti–Al–N coatings exhibiting high indentation hardness of up to ~36 GPa at a low compressive stress level.
Název v anglickém jazyce
Time-averaged and time-resolved ion fluxes related to reactive HiPIMS deposition of Ti–Al–N films
Popis výsledku anglicky
Time-averaged and time-resolved ion fluxes during reactive HiPIMS deposition of Ti–Al–N thin films are thoroughly investigated for the usage of Ti–Al composite targets. Ion mass spectroscopy analysis revealed, that increasing Al content in the target material or reducing the N2 flow-rate ratio leads to a proportional increase of the Al+-ion count fraction. The deposition conditions allowed for the growth of cubic Ti–Al–N coatings exhibiting high indentation hardness of up to ~36 GPa at a low compressive stress level.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
20506 - Coating and films
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/LO1506" target="_blank" >LO1506: Podpora udržitelnosti centra NTIS - Nové technologie pro informační společnost</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Surface and Coatings Technology
ISSN
0257-8972
e-ISSN
—
Svazek periodika
424
Číslo periodika v rámci svazku
25 OCT 2021
Stát vydavatele periodika
CH - Švýcarská konfederace
Počet stran výsledku
12
Strana od-do
"127638-1" - "127638-12
Kód UT WoS článku
000697567600009
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85114121986