RF diodové naprašováni tenkých vrstev oxidu zinku n- a p-typu
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F07%3A00000022" target="_blank" >RIV/49777513:23640/07:00000022 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
RF diode reactive sputtering of n- and p-type zinc oxide thin films
Popis výsledku v původním jazyce
We present the relationship between parameters of reactive RF diode sputtering from a zinc oxide (ZnO) target and the crystalline, electrical and optical properties of n-/p-type ZnO thin films depended on RF power, substrate temperature and, particularly, on working gas mixtures of Ar/O2 and of Ar/N2. Sputtering in Ar+O2 working gas (up to 75% of O2)improved the structure of an n-type ZnO thin film, from fibrous ZnO grains to colummar crystallites, both preferentially oriented along the c-axis normallyto the substrate (<002> direction). These films had good piezoelektric properties but also high resistivity (ρ≈10E3 Ωcm). ZnO:N p-type films exhibited nanograin structure with preferential <002> orientation at 25% N2 and <002> orientationfor higher N2 content.
Název v anglickém jazyce
RF diode reactive sputtering of n- and p-type zinc oxide thin films
Popis výsledku anglicky
We present the relationship between parameters of reactive RF diode sputtering from a zinc oxide (ZnO) target and the crystalline, electrical and optical properties of n-/p-type ZnO thin films depended on RF power, substrate temperature and, particularly, on working gas mixtures of Ar/O2 and of Ar/N2. Sputtering in Ar+O2 working gas (up to 75% of O2)improved the structure of an n-type ZnO thin film, from fibrous ZnO grains to colummar crystallites, both preferentially oriented along the c-axis normallyto the substrate (<002> direction). These films had good piezoelektric properties but also high resistivity (ρ≈10E3 Ωcm). ZnO:N p-type films exhibited nanograin structure with preferential <002> orientation at 25% N2 and <002> orientationfor higher N2 content.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materiály a komponenty pro ochranu životního prostředí</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Vacuum
ISSN
0042-207X
e-ISSN
—
Svazek periodika
—
Číslo periodika v rámci svazku
—
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
166
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—