Strukturní a optické vlastnosti PECVD a-Si:H ovlivněné různým vodíkovým zředěním

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F07%3A00000030" target="_blank" >RIV/49777513:23640/07:00000030 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Structural and optical properties of PECVD a-Si:H influenced by different hydrogen dilutions

Popis výsledku v původním jazyce

Thin films of hydrogenated amorphous silicon were deposited by plasma - enhanced chemical vapor deposition (PECVD) from silane diluted with hydrogen (dilution D range 5 &#8211; 40). Thickness of the samples was 300 nm. The applied techniques for structural and optical analysis were: XRD diffraction, UV- VIS spectrophotometry and FTIR. Micro-crystallite regions appeared only at higher hydrogen dilutions (D = 33, 40). Structure includes an amorphous phase with the short-range order are called protocrystalline silicon. Structural properties were obtained from the XRD analysis. The results of optical spectrometry measurement of the films are also presented.

Název v anglickém jazyce

Structural and optical properties of PECVD a-Si:H influenced by different hydrogen dilutions

Popis výsledku anglicky

Thin films of hydrogenated amorphous silicon were deposited by plasma - enhanced chemical vapor deposition (PECVD) from silane diluted with hydrogen (dilution D range 5 &#8211; 40). Thickness of the samples was 300 nm. The applied techniques for structural and optical analysis were: XRD diffraction, UV- VIS spectrophotometry and FTIR. Micro-crystallite regions appeared only at higher hydrogen dilutions (D = 33, 40). Structure includes an amorphous phase with the short-range order are called protocrystalline silicon. Structural properties were obtained from the XRD analysis. The results of optical spectrometry measurement of the films are also presented.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materiály a komponenty pro ochranu životního prostředí</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Vákuové technológie - nové trendy vo výskume a aplikáciách

ISBN

978-80-969435-3-1

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

104-107

Název nakladatele

Slovenská vákuová spoločnosť

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Štrbské Pleso

Datum konání akce

1. 1. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—