Microstructure related characterization of a-Si:H thin films PECVD deposited under varied hydrogen dilution
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F07%3A00501167" target="_blank" >RIV/49777513:23640/07:00501167 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Microstructure related characterization of a-Si:H thin films PECVD deposited under varied hydrogen dilution
Popis výsledku v původním jazyce
We report on the structure and optical properties of hydrogenated silicon thin films deposited by plasma - enhanced chemical vapor deposition (PECVD) from silane diluted with hydrogen in a wide dilution range. The samples deposited with dilutions below 30 were detected as amorphous hydrogenated silicon (a-Si:H) with crystalline grains of several nanometers in size which represent the medium-range order of a-Si:H. The optical characterization confirmed increasing ordering with the increasing dilution. The optical band gap was observed to be increasing function of the dilution.
Název v anglickém jazyce
Microstructure related characterization of a-Si:H thin films PECVD deposited under varied hydrogen dilution
Popis výsledku anglicky
We report on the structure and optical properties of hydrogenated silicon thin films deposited by plasma - enhanced chemical vapor deposition (PECVD) from silane diluted with hydrogen in a wide dilution range. The samples deposited with dilutions below 30 were detected as amorphous hydrogenated silicon (a-Si:H) with crystalline grains of several nanometers in size which represent the medium-range order of a-Si:H. The optical characterization confirmed increasing ordering with the increasing dilution. The optical band gap was observed to be increasing function of the dilution.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materiály a komponenty pro ochranu životního prostředí</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Advances in Electrical and Electronic Engineering
ISSN
1336-1376
e-ISSN
—
Svazek periodika
6
Číslo periodika v rámci svazku
3
Stát vydavatele periodika
SK - Slovenská republika
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—