Effect of Substrate Temperature on Oblique-Angle Sputtered ZnO:Ga Thin Films
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23640%2F10%3A00503489" target="_blank" >RIV/49777513:23640/10:00503489 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Effect of Substrate Temperature on Oblique-Angle Sputtered ZnO:Ga Thin Films
Popis výsledku v původním jazyce
A study of the effect of substrate temperature on oblique-angle sputtered galium- doped zinc oxide (GZO) thin films was carried out. Both the oblique-angle sputtering and the substrate temperature lowered the resistivity of GZO thin films down to 4 x 10-3 ohm cm together with an increase of their optical transmittance over 90%.
Název v anglickém jazyce
Effect of Substrate Temperature on Oblique-Angle Sputtered ZnO:Ga Thin Films
Popis výsledku anglicky
A study of the effect of substrate temperature on oblique-angle sputtered galium- doped zinc oxide (GZO) thin films was carried out. Both the oblique-angle sputtering and the substrate temperature lowered the resistivity of GZO thin films down to 4 x 10-3 ohm cm together with an increase of their optical transmittance over 90%.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/1M06031" target="_blank" >1M06031: Materiály a komponenty pro ochranu životního prostředí</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
ASDAM 2010
ISBN
978-1-4244-8572-7
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
—
Název nakladatele
IEEE Nuclear and Plasma Sciences Society
Místo vydání
New York
Místo konání akce
Smolenice Castle, Slovakia
Datum konání akce
1. 1. 2010
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—