Pressure dependence of Ar-2(+), ArTi+, and Ti-2(+) dimer formation in a magnetron sputtering discharge
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12310%2F17%3A43895657" target="_blank" >RIV/60076658:12310/17:43895657 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68378271:_____/17:00486976
Výsledek na webu
<a href="http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6463/aa8b9a/meta" target="_blank" >http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6463/aa8b9a/meta</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/aa8b9a" target="_blank" >10.1088/1361-6463/aa8b9a</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Pressure dependence of Ar-2(+), ArTi+, and Ti-2(+) dimer formation in a magnetron sputtering discharge
Popis výsledku v původním jazyce
Formation of Ar+ and Ti+ monomers and of Ar-2(+), ArTi+, and Ti-2(+) dimer ions in a magnetron sputtering discharge with a Ti cathode and at argon gas pressures of 0.3-2.1 Pa was investigated by means of energy-resolved mass spectrometry. An unbalanced 2 inch magnetron operated in direct current mode with a power of 150 W (typical operation voltage -365 V) was employed. Energy spectra of Ar+ and Ti+ ions show distinct features which are related to the specific formation processes taking place at the Ti cathode or resulting from gas phase reactions. Formation of Ar-2(+), ArTi+, and Ti-2(+) dimer ions show pronounced pressure dependencies which can be attributed to distinct formation and loss processes. Ti-2(+) ions originate from direct sputtering of Ti-2 dimers and the subsequent ionization in the plasma region above the cathode.
Název v anglickém jazyce
Pressure dependence of Ar-2(+), ArTi+, and Ti-2(+) dimer formation in a magnetron sputtering discharge
Popis výsledku anglicky
Formation of Ar+ and Ti+ monomers and of Ar-2(+), ArTi+, and Ti-2(+) dimer ions in a magnetron sputtering discharge with a Ti cathode and at argon gas pressures of 0.3-2.1 Pa was investigated by means of energy-resolved mass spectrometry. An unbalanced 2 inch magnetron operated in direct current mode with a power of 150 W (typical operation voltage -365 V) was employed. Energy spectra of Ar+ and Ti+ ions show distinct features which are related to the specific formation processes taking place at the Ti cathode or resulting from gas phase reactions. Formation of Ar-2(+), ArTi+, and Ti-2(+) dimer ions show pronounced pressure dependencies which can be attributed to distinct formation and loss processes. Ti-2(+) ions originate from direct sputtering of Ti-2 dimers and the subsequent ionization in the plasma region above the cathode.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Physics D: Applied Physics
ISSN
0022-3727
e-ISSN
—
Svazek periodika
50
Číslo periodika v rámci svazku
44
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
8
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000415635800003
EID výsledku v databázi Scopus
—