Ramanova spektra vrstev nitridu gallitého obsahujících erbium připravených magnetronovým naprašováním

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60461373%3A22310%2F04%3A00011663" target="_blank" >RIV/60461373:22310/04:00011663 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Raman spectra of erbium doped gallium nitride layers fabricated by magnetron sputtering

Popis výsledku v původním jazyce

We report about fabrication of GaN layers by magnetron sputtering on silicon substrates using gallium targets and argon-nitrogen mixtures. Erbium doping into the GaN occurred from metallic erbium powder that was deposited onto the top of the gallium targets. Fabricated samples were characterized by X-ray-diffraction, Raman spectra and using nuclear analytical methods as RBS and ERDA. The properties of the samples were compared with that fabricated by MOCVD method.

Název v anglickém jazyce

Raman spectra of erbium doped gallium nitride layers fabricated by magnetron sputtering

Popis výsledku anglicky

We report about fabrication of GaN layers by magnetron sputtering on silicon substrates using gallium targets and argon-nitrogen mixtures. Erbium doping into the GaN occurred from metallic erbium powder that was deposited onto the top of the gallium targets. Fabricated samples were characterized by X-ray-diffraction, Raman spectra and using nuclear analytical methods as RBS and ERDA. The properties of the samples were compared with that fabricated by MOCVD method.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

CA - Anorganická chemie

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 3rd European Microelectronics and Packaging Symposium

ISBN

80-2835-x

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

577-582

Název nakladatele

IMAPS CZ&SK

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

16. 6. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—