Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Films Modified by Silicon, Oxygen or Nitrogen

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389005%3A_____%2F11%3A00368783" target="_blank" >RIV/61389005:_____/11:00368783 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Films Modified by Silicon, Oxygen or Nitrogen

  • Popis výsledku v původním jazyce

    Diamond-like carbon coatings with various silicon-oxide content were deposited on different substrate materials (silicon, glass, polycarbonate and steel) in capacitively coupled r.f. discharge (13.56 MHz). Complete atomic compositions, including hydrogencontent and film densities, were determined by combination of RBS and ERD analyses. The complex dielectric function of the films was determined from ellipsometric measurements in the range 1.5-5.2 eV. The mechanical properties of prepared coatings (e.g.hardness, elastic modulus, fracture toughness, coating/substrate adhesion etc.) were studied by means of depth sensing indentation technique using Fischerscope H100 tester. The effect of intrinsic stress on the coating properties was investigated.

  • Název v anglickém jazyce

    Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Films Modified by Silicon, Oxygen or Nitrogen

  • Popis výsledku anglicky

    Diamond-like carbon coatings with various silicon-oxide content were deposited on different substrate materials (silicon, glass, polycarbonate and steel) in capacitively coupled r.f. discharge (13.56 MHz). Complete atomic compositions, including hydrogencontent and film densities, were determined by combination of RBS and ERD analyses. The complex dielectric function of the films was determined from ellipsometric measurements in the range 1.5-5.2 eV. The mechanical properties of prepared coatings (e.g.hardness, elastic modulus, fracture toughness, coating/substrate adhesion etc.) were studied by means of depth sensing indentation technique using Fischerscope H100 tester. The effect of intrinsic stress on the coating properties was investigated.

Klasifikace

  • Druh

    D - Stať ve sborníku

  • CEP obor

    BG - Jaderná, atomová a molekulová fyzika, urychlovače

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/GA202%2F07%2F1669" target="_blank" >GA202/07/1669: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích</a><br>

  • Návaznosti

    Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2011

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název statě ve sborníku

    SAPP 18th Symposium on Application of Plasma Processes SAPP XVIII

  • ISBN

    978-80-89186-77-8

  • ISSN

  • e-ISSN

  • Počet stran výsledku

    55

  • Strana od-do

    "pp.347"-"pp.402"

  • Název nakladatele

    Department of Experimental Physics, Faculty of Mathematics,

  • Místo vydání

    Bratislava

  • Místo konání akce

    Vrátna dolina

  • Datum konání akce

    15. 1. 2011

  • Typ akce podle státní příslušnosti

    WRD - Celosvětová akce

  • Kód UT WoS článku