Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Films Modified by Silicon, Oxygen or Nitrogen
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389005%3A_____%2F11%3A00368783" target="_blank" >RIV/61389005:_____/11:00368783 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Films Modified by Silicon, Oxygen or Nitrogen
Popis výsledku v původním jazyce
Diamond-like carbon coatings with various silicon-oxide content were deposited on different substrate materials (silicon, glass, polycarbonate and steel) in capacitively coupled r.f. discharge (13.56 MHz). Complete atomic compositions, including hydrogencontent and film densities, were determined by combination of RBS and ERD analyses. The complex dielectric function of the films was determined from ellipsometric measurements in the range 1.5-5.2 eV. The mechanical properties of prepared coatings (e.g.hardness, elastic modulus, fracture toughness, coating/substrate adhesion etc.) were studied by means of depth sensing indentation technique using Fischerscope H100 tester. The effect of intrinsic stress on the coating properties was investigated.
Název v anglickém jazyce
Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Films Modified by Silicon, Oxygen or Nitrogen
Popis výsledku anglicky
Diamond-like carbon coatings with various silicon-oxide content were deposited on different substrate materials (silicon, glass, polycarbonate and steel) in capacitively coupled r.f. discharge (13.56 MHz). Complete atomic compositions, including hydrogencontent and film densities, were determined by combination of RBS and ERD analyses. The complex dielectric function of the films was determined from ellipsometric measurements in the range 1.5-5.2 eV. The mechanical properties of prepared coatings (e.g.hardness, elastic modulus, fracture toughness, coating/substrate adhesion etc.) were studied by means of depth sensing indentation technique using Fischerscope H100 tester. The effect of intrinsic stress on the coating properties was investigated.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BG - Jaderná, atomová a molekulová fyzika, urychlovače
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA202%2F07%2F1669" target="_blank" >GA202/07/1669: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
SAPP 18th Symposium on Application of Plasma Processes SAPP XVIII
ISBN
978-80-89186-77-8
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
55
Strana od-do
"pp.347"-"pp.402"
Název nakladatele
Department of Experimental Physics, Faculty of Mathematics,
Místo vydání
Bratislava
Místo konání akce
Vrátna dolina
Datum konání akce
15. 1. 2011
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—