Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Films Modified by Silicon, Oxygen or Nitrogen

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/61389005:_____/11:00368783 - isvavai.cz

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Films Modified by Silicon, Oxygen or Nitrogen

Popis výsledku v původním jazyce

Diamond-like carbon coatings with various silicon-oxide content were deposited on different substrate materials (silicon, glass, polycarbonate and steel) in capacitively coupled r.f. discharge (13.56 MHz). Complete atomic compositions, including hydrogencontent and film densities, were determined by combination of RBS and ERD analyses. The complex dielectric function of the films was determined from ellipsometric measurements in the range 1.5-5.2 eV. The mechanical properties of prepared coatings (e.g.hardness, elastic modulus, fracture toughness, coating/substrate adhesion etc.) were studied by means of depth sensing indentation technique using Fischerscope H100 tester. The effect of intrinsic stress on the coating properties was investigated.

Název v anglickém jazyce

Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Films Modified by Silicon, Oxygen or Nitrogen

Popis výsledku anglicky

Diamond-like carbon coatings with various silicon-oxide content were deposited on different substrate materials (silicon, glass, polycarbonate and steel) in capacitively coupled r.f. discharge (13.56 MHz). Complete atomic compositions, including hydrogencontent and film densities, were determined by combination of RBS and ERD analyses. The complex dielectric function of the films was determined from ellipsometric measurements in the range 1.5-5.2 eV. The mechanical properties of prepared coatings (e.g.hardness, elastic modulus, fracture toughness, coating/substrate adhesion etc.) were studied by means of depth sensing indentation technique using Fischerscope H100 tester. The effect of intrinsic stress on the coating properties was investigated.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BG - Jaderná, atomová a molekulová fyzika, urychlovače

OECD FORD obor

—

Projekt

GA202/07/1669: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

SAPP 18th Symposium on Application of Plasma Processes SAPP XVIII

ISBN

978-80-89186-77-8

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

55

Strana od-do

"pp.347"-"pp.402"

Název nakladatele

Department of Experimental Physics, Faculty of Mathematics,

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Vrátna dolina

Datum konání akce

15. 1. 2011

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—