Effect of temperature treatment on mechanical properties of amorphous boron carbide thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F11%3A33140148" target="_blank" >RIV/61989592:15310/11:33140148 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Effect of temperature treatment on mechanical properties of amorphous boron carbide thin films

Popis výsledku v původním jazyce

Nanoindentation tests have been performed to investigate the effect of temperature treatment on mechanical properties (hardness and elastic modulus) of magnetron sputtered amorphous boron carbide thin films. Variations in a film thickness and internal stress were studied as well. Films were investigated in two ways (i) after annealing in air for one hour at temperatures of 300, 400, 500 and 600 °C (ii) in-situ high temperature measurements at 100, 200, 300 and 400 °C. Increasing the annealing temperature up to 500 °C leads to the stress reduction, slight decrease of the thickness and increase in the film hardness. However already at 600 °C the dramatic film thickness reduction takes place. Hot stage nanoindentation tests show that surface hardness andelastic modulus are almost constant with temperature up to 400 °C.

Název v anglickém jazyce

Effect of temperature treatment on mechanical properties of amorphous boron carbide thin films

Popis výsledku anglicky

Nanoindentation tests have been performed to investigate the effect of temperature treatment on mechanical properties (hardness and elastic modulus) of magnetron sputtered amorphous boron carbide thin films. Variations in a film thickness and internal stress were studied as well. Films were investigated in two ways (i) after annealing in air for one hour at temperatures of 300, 400, 500 and 600 °C (ii) in-situ high temperature measurements at 100, 200, 300 and 400 °C. Increasing the annealing temperature up to 500 °C leads to the stress reduction, slight decrease of the thickness and increase in the film hardness. However already at 600 °C the dramatic film thickness reduction takes place. Hot stage nanoindentation tests show that surface hardness andelastic modulus are almost constant with temperature up to 400 °C.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings 49th International Scientific Conference Experimentální anlýza napětí 2011 / Experimental Stress Analysis 2011

ISBN

978-80-214-4275-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

39-43

Název nakladatele

Vysoké učení technické

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Znojmo

Datum konání akce

6. 6. 2011

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—