Nanoindentation-induced phase transformation in silicon thin films
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F13%3A33146233" target="_blank" >RIV/61989592:15310/13:33146233 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.586.112" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.586.112</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.586.112" target="_blank" >10.4028/www.scientific.net/KEM.586.112</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Nanoindentation-induced phase transformation in silicon thin films
Popis výsledku v původním jazyce
Nanoindentation-induced phase transformation of amorphous, annealed amorphous and microcrystalline hydrogen-free silicon thin films were studied. Series of nanoindentation experiments were performed with a sharp Berkovich indenter at various unloading rates. The structural changes in indentation deformed regions were examined using Raman spectroscopy. Analyses of indentation curves and Raman spectra suggest that high pressure phases appear more easily in annealed amorphous Si thin films than in microcrystalline ones.
Název v anglickém jazyce
Nanoindentation-induced phase transformation in silicon thin films
Popis výsledku anglicky
Nanoindentation-induced phase transformation of amorphous, annealed amorphous and microcrystalline hydrogen-free silicon thin films were studied. Series of nanoindentation experiments were performed with a sharp Berkovich indenter at various unloading rates. The structural changes in indentation deformed regions were examined using Raman spectroscopy. Analyses of indentation curves and Raman spectra suggest that high pressure phases appear more easily in annealed amorphous Si thin films than in microcrystalline ones.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JL - Únava materiálu a lomová mechanika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Local Mechanical Properties IX
ISBN
978-3-03785-876-9
ISSN
1013-9826
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
112-115
Název nakladatele
Trans Tech Publications Ltd.
Místo vydání
Durnten-Zurich
Místo konání akce
Levoča
Datum konání akce
7. 11. 2012
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—