Examination of semiconductor structures with slow electrons.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F02%3A12020033" target="_blank" >RIV/68081731:_____/02:12020033 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Examination of semiconductor structures with slow electrons.
Popis výsledku v původním jazyce
Possibilities for visualization of the doped areas and variances in the local density of electron states are briefly reviewed. First examples are presented of utilizing very slow electrons in a cathode lens equipped SEM for this purpose. These include acquisition of the doping contrast via secondary electrons and observation of the local energy band structure by means of elastically backscattered electrons.
Název v anglickém jazyce
Examination of semiconductor structures with slow electrons.
Popis výsledku anglicky
Possibilities for visualization of the doped areas and variances in the local density of electron states are briefly reviewed. First examples are presented of utilizing very slow electrons in a cathode lens equipped SEM for this purpose. These include acquisition of the doping contrast via secondary electrons and observation of the local energy band structure by means of elastically backscattered electrons.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/IAA1065901" target="_blank" >IAA1065901: Vlnově optické kontrasty v rastrovacím elektronovém mikroskopu</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2002
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceedings of the 2nd annual meeting of the Czechoslovak microscopy society.
ISBN
80-238-8749-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
19-22
Název nakladatele
CSMS
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Vranovská Ves [CZ]
Datum konání akce
8. 2. 2002
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—