Contrast Mechanisms in the Scanning Low Energy Electron Microscopy.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F03%3A12030024" target="_blank" >RIV/68081731:_____/03:12030024 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Contrast Mechanisms in the Scanning Low Energy Electron Microscopy.

Popis výsledku v původním jazyce

The SEM instruments, marketed at the present time, cover the range of impact energies of primary electrons down to 1 keV. Systems with compound objective lenses, containing a retarding field element, extend this range down to about 200 eV and the cathodelens (CL) equipped devices allow using arbitrarily low impact energy at acceptable resolution [1]. Consequently, the electron energy becomes a mere parameter of the SEM image and all contrast mechanisms, excited by electron impact, appear as equally available. Similarly, the strict distinguishing between kinds of information mediated by seconary (SE) and backscattered (BSE) electrons, respectively, is less relevant with novel detector principles employing acceleration of emitted electrons and conversion of accelerated signal species to slow SE. A CL equipped SEM detects SE and BSE together so that both should be always considered with any particular family of contrasts.

Název v anglickém jazyce

Contrast Mechanisms in the Scanning Low Energy Electron Microscopy.

Popis výsledku anglicky

The SEM instruments, marketed at the present time, cover the range of impact energies of primary electrons down to 1 keV. Systems with compound objective lenses, containing a retarding field element, extend this range down to about 200 eV and the cathodelens (CL) equipped devices allow using arbitrarily low impact energy at acceptable resolution [1]. Consequently, the electron energy becomes a mere parameter of the SEM image and all contrast mechanisms, excited by electron impact, appear as equally available. Similarly, the strict distinguishing between kinds of information mediated by seconary (SE) and backscattered (BSE) electrons, respectively, is less relevant with novel detector principles employing acceleration of emitted electrons and conversion of accelerated signal species to slow SE. A CL equipped SEM detects SE and BSE together so that both should be always considered with any particular family of contrasts.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Microscopy and Microanalysis

ISSN

1431-9276

e-ISSN

—

Svazek periodika

9

Číslo periodika v rámci svazku

Sup. 3

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

120-121

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—