SEM characterization of carbon nanotubes based active layers of chemical sensors
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F14%3A00435575" target="_blank" >RIV/68081731:_____/14:00435575 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00216305:26220/14:PU110668
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1109/ISSE.2014.6887625" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1109/ISSE.2014.6887625</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1109/ISSE.2014.6887625" target="_blank" >10.1109/ISSE.2014.6887625</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
SEM characterization of carbon nanotubes based active layers of chemical sensors
Popis výsledku v původním jazyce
Characterization method for active layers for microelectrodes of electrochemical and gas sensors using scanning electron microscopy (SEM) is presented. In order to achieve maximum sensitivity and selectivity of the sensor, it is necessary to obtain precise knowledge of electrode's surface. Characterization was made using FEI Magellan SEM equipped with TLD secondary electron (SE) and CBS back-scattered electron (BSE) detectors, Energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS) and beam deceleration system. SEMat lower energies offers several advantages, among them the most important are: increase of material contrast, high ratio SE, BSE signal and noise, smaller interaction volume and elimination of charging effects.
Název v anglickém jazyce
SEM characterization of carbon nanotubes based active layers of chemical sensors
Popis výsledku anglicky
Characterization method for active layers for microelectrodes of electrochemical and gas sensors using scanning electron microscopy (SEM) is presented. In order to achieve maximum sensitivity and selectivity of the sensor, it is necessary to obtain precise knowledge of electrode's surface. Characterization was made using FEI Magellan SEM equipped with TLD secondary electron (SE) and CBS back-scattered electron (BSE) detectors, Energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS) and beam deceleration system. SEMat lower energies offers several advantages, among them the most important are: increase of material contrast, high ratio SE, BSE signal and noise, smaller interaction volume and elimination of charging effects.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceedings of the ISSE 2014. 37th International Spring Seminar on Electronics Technology
ISBN
978-1-4799-4455-2
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
361-364
Název nakladatele
IEEE
Místo vydání
Piscataway
Místo konání akce
Dresden
Datum konání akce
7. 5. 2014
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000346580500072