Dynamické chování kontrastu dopantů v LVSEM

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F07%3A00092590" target="_blank" >RIV/68081731:_____/07:00092590 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Dynamic Behaviour of the Dopant Contrast in LVSEM
Popis výsledku v původním jazyce
Contrast between differently doped areas in semiconductors can be observed in the secondary electron emission in a scanning electron microscope. Behaviour of the contrast in dependence on the incident electron dose and energy and on the presence of surface adlayers has been studied on different doped samples.
Název v anglickém jazyce
Dynamic Behaviour of the Dopant Contrast in LVSEM
Popis výsledku anglicky
Contrast between differently doped areas in semiconductors can be observed in the secondary electron emission in a scanning electron microscope. Behaviour of the contrast in dependence on the incident electron dose and energy and on the presence of surface adlayers has been studied on different doped samples.

Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F05%2F2327" target="_blank" >GA102/05/2327: Přímé zobrazení rozložení dopantů v polovodiči pomocí pomalých elektronů</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy
ISBN
978-80-239-9397-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
95-96
Název nakladatele
Czechoslovak Microscopy Society
Místo vydání
Prague
Místo konání akce
Prague
Datum konání akce
17. 6. 2007
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)