Vliv náklonění vzorku na vlastnosti osového svazku

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00315084" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00315084 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Influence of tilt of sample on axial beam properties

Popis výsledku v původním jazyce

A sample in a vacuum chamber of a scanning electron microscope equipped with a cathode lens should be perpendicular to the axis because the energy of primary electrons is about ten eV. In real situations the tilt of the sample about one or two degrees ispossible. The sample is an electrode and its tilt breaks the rotation symmetry of the system. It causes that parasitic field is present, which easily influences the properties of a low energy beam. We simulated the influence of the tilt of sample on axial beam properties for the electron beam with energy 10 keV in front of the objective lens the energy of primary impacting electrons on the sample was 10 eV.

Název v anglickém jazyce

Influence of tilt of sample on axial beam properties

Popis výsledku anglicky

A sample in a vacuum chamber of a scanning electron microscope equipped with a cathode lens should be perpendicular to the axis because the energy of primary electrons is about ten eV. In real situations the tilt of the sample about one or two degrees ispossible. The sample is an electrode and its tilt breaks the rotation symmetry of the system. It causes that parasitic field is present, which easily influences the properties of a low energy beam. We simulated the influence of the tilt of sample on axial beam properties for the electron beam with energy 10 keV in front of the objective lens the energy of primary impacting electrons on the sample was 10 eV.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/IAA100650805" target="_blank" >IAA100650805: Vady seřízení elektronově optických systémů</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

EMC 2008 - 14th European Microscopy Congress - Volume 1: Instrumentation and Methods

ISBN

978-3-540-85154-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Název nakladatele

Springer

Místo vydání

Berlin

Místo konání akce

Aachen

Datum konání akce

1. 9. 2008

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—