Simulation of Energy Selective signal Amplification in Gas Environment of Variable Pressure SEM
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F11%3A00368930" target="_blank" >RIV/68081731:_____/11:00368930 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1017/S1431927611005472" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1017/S1431927611005472</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1017/S1431927611005472" target="_blank" >10.1017/S1431927611005472</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Simulation of Energy Selective signal Amplification in Gas Environment of Variable Pressure SEM
Popis výsledku v původním jazyce
High pressure of gas mostly water vapour, with pressure range from 0.1 Pa to 80 Pa in the first differentially pumped chamber and 10 Pa to over 2000 Pa in the specimen chamber is used in variable pressure scanning electron microscopes (VP-SEM) such as our experimental AQUASEM II equipped with a combined YAG-BSE and ionization detector of SE. The gas environment causes unwanted primary electron beam diffusion, but it also supports gas ionization cascade amplification of the signal of secondary electrons(SE), accelerated by the applied field of detection electrode of the ionisation detector.
Název v anglickém jazyce
Simulation of Energy Selective signal Amplification in Gas Environment of Variable Pressure SEM
Popis výsledku anglicky
High pressure of gas mostly water vapour, with pressure range from 0.1 Pa to 80 Pa in the first differentially pumped chamber and 10 Pa to over 2000 Pa in the specimen chamber is used in variable pressure scanning electron microscopes (VP-SEM) such as our experimental AQUASEM II equipped with a combined YAG-BSE and ionization detector of SE. The gas environment causes unwanted primary electron beam diffusion, but it also supports gas ionization cascade amplification of the signal of secondary electrons(SE), accelerated by the applied field of detection electrode of the ionisation detector.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GAP102%2F10%2F1410" target="_blank" >GAP102/10/1410: Studium vlivu magnetického a elektrostatického pole na zesílení signálu sekundárních elektronů detekovaných novým detektorem pro VP-SEM.</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Microscopy and Microanalysis
ISSN
1431-9276
e-ISSN
—
Svazek periodika
17
Číslo periodika v rámci svazku
—
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
920-921
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—