Praktická elektronová litografie
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F13%3A00423948" target="_blank" >RIV/68081731:_____/13:00423948 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Praktická elektronová litografie
Popis výsledku v původním jazyce
Kniha předkládá čtenáři základní koncepty elektronové litografie a autorovy praktické zkušenosti za období třicetileté soustavné činnosti v oboru elektronové litografie a souvisejících technologických postupech.
Název v anglickém jazyce
Practical E-Beam Lithography
Popis výsledku anglicky
The book presents concepts of electron beam lithography and offers results of author's practical experience over thirty-year continuous activity in the field of e-beam lithography and related processes.
Klasifikace
Druh
B - Odborná kniha
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
ISBN
978-80-87441-04-6
Počet stran knihy
88
Název nakladatele
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i
Místo vydání
Brno
Kód UT WoS knihy
—