Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

A Comparison of Different Measurement Method of Mechanical Properties of Al Thin Film

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F14%3A00437883" target="_blank" >RIV/68081731:_____/14:00437883 - isvavai.cz</a>

  • Nalezeny alternativní kódy

    RIV/68081723:_____/14:00437883

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    A Comparison of Different Measurement Method of Mechanical Properties of Al Thin Film

  • Popis výsledku v původním jazyce

    The paper compares two different methods for testing of metallic thin films: microcompression test and nanoindentation. Microcompression test is one possibility how to perform mechanical tests on a very small scale. This method requires preparation of asmall cylindrical specimen (micropillar) of micrometric size by FIB and execution of a compression test using nanoindenter device equipped with a flat diamond punch. Stressstrain curves of the thin films were obtained from such tests. Nanoindentation tests were then conducted to compare the results on the same films. Two different metal thin films ? AlCuW, AlCuSi with thickness 2 .mu.m and grain size 3.8 .mu.m in average were prepared by PVD method. In this paper, we announce the results of measurements, a comparison of the results obtained by each method and identify advantages and limitations of the methods.

  • Název v anglickém jazyce

    A Comparison of Different Measurement Method of Mechanical Properties of Al Thin Film

  • Popis výsledku anglicky

    The paper compares two different methods for testing of metallic thin films: microcompression test and nanoindentation. Microcompression test is one possibility how to perform mechanical tests on a very small scale. This method requires preparation of asmall cylindrical specimen (micropillar) of micrometric size by FIB and execution of a compression test using nanoindenter device equipped with a flat diamond punch. Stressstrain curves of the thin films were obtained from such tests. Nanoindentation tests were then conducted to compare the results on the same films. Two different metal thin films ? AlCuW, AlCuSi with thickness 2 .mu.m and grain size 3.8 .mu.m in average were prepared by PVD method. In this paper, we announce the results of measurements, a comparison of the results obtained by each method and identify advantages and limitations of the methods.

Klasifikace

  • Druh

    D - Stať ve sborníku

  • CEP obor

    JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2014

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název statě ve sborníku

    NANOCON 2014. 6th International conference proceedings

  • ISBN

    978-80-87294-55-0

  • ISSN

  • e-ISSN

  • Počet stran výsledku

    6

  • Strana od-do

  • Název nakladatele

    TANGER

  • Místo vydání

    Ostrava

  • Místo konání akce

    Brno

  • Datum konání akce

    5. 11. 2014

  • Typ akce podle státní příslušnosti

    WRD - Celosvětová akce

  • Kód UT WoS článku