A Comparison of Different Measurement Method of Mechanical Properties of Al Thin Film
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F14%3A00437883" target="_blank" >RIV/68081731:_____/14:00437883 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68081723:_____/14:00437883
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
A Comparison of Different Measurement Method of Mechanical Properties of Al Thin Film
Popis výsledku v původním jazyce
The paper compares two different methods for testing of metallic thin films: microcompression test and nanoindentation. Microcompression test is one possibility how to perform mechanical tests on a very small scale. This method requires preparation of asmall cylindrical specimen (micropillar) of micrometric size by FIB and execution of a compression test using nanoindenter device equipped with a flat diamond punch. Stressstrain curves of the thin films were obtained from such tests. Nanoindentation tests were then conducted to compare the results on the same films. Two different metal thin films ? AlCuW, AlCuSi with thickness 2 .mu.m and grain size 3.8 .mu.m in average were prepared by PVD method. In this paper, we announce the results of measurements, a comparison of the results obtained by each method and identify advantages and limitations of the methods.
Název v anglickém jazyce
A Comparison of Different Measurement Method of Mechanical Properties of Al Thin Film
Popis výsledku anglicky
The paper compares two different methods for testing of metallic thin films: microcompression test and nanoindentation. Microcompression test is one possibility how to perform mechanical tests on a very small scale. This method requires preparation of asmall cylindrical specimen (micropillar) of micrometric size by FIB and execution of a compression test using nanoindenter device equipped with a flat diamond punch. Stressstrain curves of the thin films were obtained from such tests. Nanoindentation tests were then conducted to compare the results on the same films. Two different metal thin films ? AlCuW, AlCuSi with thickness 2 .mu.m and grain size 3.8 .mu.m in average were prepared by PVD method. In this paper, we announce the results of measurements, a comparison of the results obtained by each method and identify advantages and limitations of the methods.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
NANOCON 2014. 6th International conference proceedings
ISBN
978-80-87294-55-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
—
Název nakladatele
TANGER
Místo vydání
Ostrava
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
5. 11. 2014
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—