Possibilites of a secondary electrons bandpass filter for standard SEM

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F18%3A00494367" target="_blank" >RIV/68081731:_____/18:00494367 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Possibilites of a secondary electrons bandpass filter for standard SEM
Popis výsledku v původním jazyce
Secondary electron filtering in Scanning Electron Microscope (SEM) has been in use for overna decade. This technique uncovers interesting contrasts in an otherwise ordinary SEM imagenwhich can possibly be used for dopant concentration mapping or for discerning the slight molecular weight differences in apparently homogeneous organic materials. Secondarynelectron filtering of semiconductor samples seems very promising as it may shed light on the mechanism of SEM image contrast between p-doped and n-doped semiconductors, possiblynallowing to determine dopant concentration from SEM image alone.
Název v anglickém jazyce
Possibilites of a secondary electrons bandpass filter for standard SEM
Popis výsledku anglicky
Secondary electron filtering in Scanning Electron Microscope (SEM) has been in use for overna decade. This technique uncovers interesting contrasts in an otherwise ordinary SEM imagenwhich can possibly be used for dopant concentration mapping or for discerning the slight molecular weight differences in apparently homogeneous organic materials. Secondarynelectron filtering of semiconductor samples seems very promising as it may shed light on the mechanism of SEM image contrast between p-doped and n-doped semiconductors, possiblynallowing to determine dopant concentration from SEM image alone.

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění
2018
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar
ISBN
978-80-87441-23-7
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
3
Strana od-do
46-47
Název nakladatele
Institute of Scientific Instruments The Czech Academy of Sciences
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Skalský dvůr
Datum konání akce
4. 6. 2018
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000450591400017

Podobné výsledky(10)