SMV-2018-20: Elektronově optické vlatnosti multi-svazkového zdroje elektronů

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F18%3A00499162" target="_blank" >RIV/68081731:_____/18:00499162 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
SMV-2018-20: Elektronově optické vlatnosti multi-svazkového zdroje elektronů
Popis výsledku v původním jazyce
Elektronový svazek je generovaný v jednom auto-emisním elektronovém zdroji, a na jednotlivé se svazečky se rozdělí na speciální apertuře, na které je 14x14 malých kruhových aperturek. Ty zároveň fungují jako čočky pro každý svazeček. Byla studována možnost korekce sklenutí pole a astigmatizmu a vzájemný vliv jednotlivých aperturek pomoci 3D výpočtu pole.
Název v anglickém jazyce
SMV-2018-20: Electron optical propertis of the multibeam electron source
Popis výsledku anglicky
The electron beam is generated in the field-emission electron source and it is separated to number of indiviual beamlets in the aperture array containg 14x14 small apertures – aperture lenses. We studied possible correction of field curvature and astigmatism as well as influence of surrounding apertures on the properties of the electron beam.

Rok uplatnění
2018
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Podobné výsledky(10)