Nanoscale Estimation of Coating Thickness on Substrates via Standardless BSE Detector Calibration

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F20%3A00525112" target="_blank" >RIV/68081731:_____/20:00525112 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://www.mdpi.com/2079-4991/10/2/332" target="_blank" >https://www.mdpi.com/2079-4991/10/2/332</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.3390/nano10020332" target="_blank" >10.3390/nano10020332</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Nanoscale Estimation of Coating Thickness on Substrates via Standardless BSE Detector Calibration

Popis výsledku v původním jazyce

The thickness of electron transparent samples can be measured in an electron microscope using several imaging techniques like electron energy loss spectroscopy (EELS) or quantitative scanning transmission electron microscopy (STEM). We extrapolate this method for using a back-scattered electron (BSE) detector in the scanning electron microscope (SEM). This brings the opportunity to measure the thickness not just of the electron transparent samples on TEM mesh grids, but, in addition, also the thickness of thin films on substrates. Nevertheless, the geometry of the microscope and the BSE detector poses a problem with precise calibration of the detector. We present a simple method which can be used for such a type of detector calibration that allows absolute (standardless) measurement of thickness, together with a proof of the method on test samples.

Název v anglickém jazyce

Nanoscale Estimation of Coating Thickness on Substrates via Standardless BSE Detector Calibration

Popis výsledku anglicky

The thickness of electron transparent samples can be measured in an electron microscope using several imaging techniques like electron energy loss spectroscopy (EELS) or quantitative scanning transmission electron microscopy (STEM). We extrapolate this method for using a back-scattered electron (BSE) detector in the scanning electron microscope (SEM). This brings the opportunity to measure the thickness not just of the electron transparent samples on TEM mesh grids, but, in addition, also the thickness of thin films on substrates. Nevertheless, the geometry of the microscope and the BSE detector poses a problem with precise calibration of the detector. We present a simple method which can be used for such a type of detector calibration that allows absolute (standardless) measurement of thickness, together with a proof of the method on test samples.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

21001 - Nano-materials (production and properties)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Nanomaterials

ISSN

2079-4991

e-ISSN

—

Svazek periodika

10

Číslo periodika v rámci svazku

2

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

11

Strana od-do

332

Kód UT WoS článku

000522456300151

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85079696006