Studium plazmatu produkovaného laserovými pulsy o vysoké energii a nízké intenzitě pro implantaci Ge iontů do Si a SiO2 podložek

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F05%3A00031345" target="_blank" >RIV/68378271:_____/05:00031345 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Investigation of plasma produced by high-energy low-intesity laser pulses for implantation of Ge ions into Si and SiO2 substrates

Popis výsledku v původním jazyce

In this contribution we describe the characterization and optimization of laser-produced Ge ion fluxes as well as analysis of the direct implantation of these ions into Si and SiO2 substrates at the PALS. The Ge target was irradiated using laser pulses of energy up to 50 J. The maximum depth of implantation of Ge ions was ~450nm.

Název v anglickém jazyce

Investigation of plasma produced by high-energy low-intesity laser pulses for implantation of Ge ions into Si and SiO2 substrates

Popis výsledku anglicky

In this contribution we describe the characterization and optimization of laser-produced Ge ion fluxes as well as analysis of the direct implantation of these ions into Si and SiO2 substrates at the PALS. The Ge target was irradiated using laser pulses of energy up to 50 J. The maximum depth of implantation of Ge ions was ~450nm.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

PLASMA 2005: Int. Conf. on Research and Applications of Plasmas; 3rd German-Polish Conf.on Plasma Diagnostics for Fusion and Applications; 5th French-Polish Seminar on Thermal Plasma in Space and Labo

ISBN

0094-243X

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

303-306

Název nakladatele

American Institut of Physics

Místo vydání

Melville

Místo konání akce

Opole-Turawa

Datum konání akce

6. 9. 2005

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—