Studium plazmatu vznikajícího během přípravy TiC a SiC tenkých vrstev v hybridním magnetron-laserovém depozičním systému

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F06%3A00042156" target="_blank" >RIV/68378271:_____/06:00042156 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Study of the plasmas produced during the deposition of TiC/SiC thin films in a hybrid magnetron-laser system

Popis výsledku v původním jazyce

Spectra of the plasmas produced by a) the magnetron alone, b) the ablation laser alone, and c) the magnetron and ablation laser together, were recorded. Spectra (a) were determined by Ar atoms and Ar+ ions. Emission lines of Ti and Si were detected, whenTi target and Si target was used, respectively. Spectra (b) revealed emission of C, C+, C2, Ar, Ar+. Spectra (c) showed presence of all previously mentioned species and further of Ti+ ions emission was detected

Název v anglickém jazyce

Study of the plasmas produced during the deposition of TiC/SiC thin films in a hybrid magnetron-laser system

Popis výsledku anglicky

Spectra of the plasmas produced by a) the magnetron alone, b) the ablation laser alone, and c) the magnetron and ablation laser together, were recorded. Spectra (a) were determined by Ar atoms and Ar+ ions. Emission lines of Ti and Si were detected, whenTi target and Si target was used, respectively. Spectra (b) revealed emission of C, C+, C2, Ar, Ar+. Spectra (c) showed presence of all previously mentioned species and further of Ti+ ions emission was detected

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Czechoslovak Journal of Physics

ISSN

0011-4626

e-ISSN

—

Svazek periodika

56

Číslo periodika v rámci svazku

4

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

381-388

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—