Laserová absorpční spektroskopie pulsního magnetronového výboje pomocí modré diody

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F06%3A00053681" target="_blank" >RIV/68378271:_____/06:00053681 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge
Popis výsledku v původním jazyce
Laser absorption spectroscopy of Al atoms in pulsed magnetron discharge with pure argon, argon/oxygen, and argon/methane gas mixtures is reported. Time-averaged densities and temperatures of sputtered Al atoms were extracted from the absorption signal. The measured Al density depended linearly on the pulse current and showed a small dependence on pressure.The critical oxygen gas flow was significantly higher in pulsed mode than in DC mode
Název v anglickém jazyce
Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge
Popis výsledku anglicky
Laser absorption spectroscopy of Al atoms in pulsed magnetron discharge with pure argon, argon/oxygen, and argon/methane gas mixtures is reported. Time-averaged densities and temperatures of sputtered Al atoms were extracted from the absorption signal. The measured Al density depended linearly on the pulse current and showed a small dependence on pressure.The critical oxygen gas flow was significantly higher in pulsed mode than in DC mode

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2006
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)