Studium elektrických vlastnosti nano a polykrystalických vrstev diamantu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00319787" target="_blank" >RIV/68378271:_____/08:00319787 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Comparative study of electrical properties of nano to polycrystalline diamond films

Popis výsledku v původním jazyce

Diamond films were grown by Microwave Plasma (MP) and Hot Filament chemical Vapor Deposition (HF CVD) on Si substrates. The dependence of electrical properties on the film morphology was studied. The surface morphology of grown layers was analyzed by scanning electron microscopy. The different crystallographic character of diamond layers, i.e. either polycrystalline or nanocrystalline, was achieved by using different deposition conditions. Lower-quality diamond films were less sensitive to variation inthe operating conditions. The film break-down voltage and other electrical parameters strongly depend on the morphological character, the grain size and defects in layers.

Název v anglickém jazyce

Comparative study of electrical properties of nano to polycrystalline diamond films

Popis výsledku anglicky

Diamond films were grown by Microwave Plasma (MP) and Hot Filament chemical Vapor Deposition (HF CVD) on Si substrates. The dependence of electrical properties on the film morphology was studied. The surface morphology of grown layers was analyzed by scanning electron microscopy. The different crystallographic character of diamond layers, i.e. either polycrystalline or nanocrystalline, was achieved by using different deposition conditions. Lower-quality diamond films were less sensitive to variation inthe operating conditions. The film break-down voltage and other electrical parameters strongly depend on the morphological character, the grain size and defects in layers.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Physics: Conference Series

ISSN

1742-6588

e-ISSN

—

Svazek periodika

100

Číslo periodika v rámci svazku

5

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—