Nízkoteplotní růst souvislých diamantových vrstev na skle a na křemíku

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00319790" target="_blank" >RIV/68378271:_____/08:00319790 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Formation of continuous nanocrystalline diamond layer on glass and silicon at low temperatures

Popis výsledku v původním jazyce

Nanocrystalline diamond thin films are grown on silicon and glass substrates by microwave plasma (MP)CVD from a gas mixture of methane and hydrogen at low substrate temperatures. The initial stages of diamond growth, i.e., i) the growth of individual nanometer-sized crystals and clusters, and ii) coalescence into a continuous layer, are investigated by diverse analytic techniques. AFM measurements reveal nearly unchanging surface roughness up to 40 min. XPS measurements detect changing of the surface composition from the very beginning of the growth process. The rapid carbon increase is assigned to the enlarging of the grown crystals and clusters. SEM images indicate a possible lateral growth type. The found dependences indicate that a two-dimensionalgrowth mode takes place at low substrate temperatures. Grown nanocrystalline diamond films are optically transparent in a wide spectral range, and exhibit a high refractive index of 2.34.

Název v anglickém jazyce

Formation of continuous nanocrystalline diamond layer on glass and silicon at low temperatures

Popis výsledku anglicky

Nanocrystalline diamond thin films are grown on silicon and glass substrates by microwave plasma (MP)CVD from a gas mixture of methane and hydrogen at low substrate temperatures. The initial stages of diamond growth, i.e., i) the growth of individual nanometer-sized crystals and clusters, and ii) coalescence into a continuous layer, are investigated by diverse analytic techniques. AFM measurements reveal nearly unchanging surface roughness up to 40 min. XPS measurements detect changing of the surface composition from the very beginning of the growth process. The rapid carbon increase is assigned to the enlarging of the grown crystals and clusters. SEM images indicate a possible lateral growth type. The found dependences indicate that a two-dimensionalgrowth mode takes place at low substrate temperatures. Grown nanocrystalline diamond films are optically transparent in a wide spectral range, and exhibit a high refractive index of 2.34.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Chemical Vapor Deposition

ISSN

0948-1907

e-ISSN

—

Svazek periodika

14

Číslo periodika v rámci svazku

7-8

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000259302700005

EID výsledku v databázi Scopus

—