Mechanical properties and structure of amorphous and crystalline B4C films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F09%3A00322294" target="_blank" >RIV/68378271:_____/09:00322294 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/61989592:15310/09:00010954

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Mechanical properties and structure of amorphous and crystalline B4C films

Popis výsledku v původním jazyce

Amorphous and crystalline films were prepared by magnetron sputtering of hot-pressed B4C target. Hardness, elastic modulus, intrinsic stress and structure were investigated in dependence on the substrate bias and deposition temperature. Electron diffraction and Raman spectroscopy show amorphous structure for all the films deposited at temperatures below 900 °C. Crystalline B4C phase appears at T > 900 °C. The hardness and elastic modulus of the films deposited on unheated substrates decrease with increasing negative substrate bias. These variations correlate well with those observed for compressive stress, argon content in films and intensity of Raman spectra.

Název v anglickém jazyce

Mechanical properties and structure of amorphous and crystalline B4C films

Popis výsledku anglicky

Amorphous and crystalline films were prepared by magnetron sputtering of hot-pressed B4C target. Hardness, elastic modulus, intrinsic stress and structure were investigated in dependence on the substrate bias and deposition temperature. Electron diffraction and Raman spectroscopy show amorphous structure for all the films deposited at temperatures below 900 °C. Crystalline B4C phase appears at T > 900 °C. The hardness and elastic modulus of the films deposited on unheated substrates decrease with increasing negative substrate bias. These variations correlate well with those observed for compressive stress, argon content in films and intensity of Raman spectra.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Diamond and Related Materials

ISSN

0925-9635

e-ISSN

—

Svazek periodika

18

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000263229400005

EID výsledku v databázi Scopus

—