Deposition of PZT Thin Films on Copper-Coated Polymer Foils-Challenges and Perspectives
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F09%3A00336530" target="_blank" >RIV/68378271:_____/09:00336530 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Deposition of PZT Thin Films on Copper-Coated Polymer Foils-Challenges and Perspectives
Popis výsledku v původním jazyce
In this work, the synthesis of (111)-textured PZT on Cu-coated polymer substrates is demonstrated by means of a RF-modulated plasma-jet system comprising a hollow cathode for reactive sputtering. Ion bombardment during film growth and lead stoichiometryare shown to be key parameters for the improvement of the PZT thin film quality.
Název v anglickém jazyce
Deposition of PZT Thin Films on Copper-Coated Polymer Foils-Challenges and Perspectives
Popis výsledku anglicky
In this work, the synthesis of (111)-textured PZT on Cu-coated polymer substrates is demonstrated by means of a RF-modulated plasma-jet system comprising a hollow cathode for reactive sputtering. Ion bombardment during film growth and lead stoichiometryare shown to be key parameters for the improvement of the PZT thin film quality.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2009
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Ferroelectrics
ISSN
0015-0193
e-ISSN
—
Svazek periodika
379
Číslo periodika v rámci svazku
1
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000265872000017
EID výsledku v databázi Scopus
—