Time-resolved plasma parameters in the HiPIMS discharge with Ti target in Ar/O2 atmosphere

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F11%3A00364640" target="_blank" >RIV/68378271:_____/11:00364640 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2010.11.050" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2010.11.050</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2010.11.050" target="_blank" >10.1016/j.surfcoat.2010.11.050</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Time-resolved plasma parameters in the HiPIMS discharge with Ti target in Ar/O2 atmosphere

Popis výsledku v původním jazyce

A High Power Impulse Magnetron Sputtering System(HiPIMS) equipped with a titanium target 5 cm in diameter has been investigated by means of a time-resolved Langmuir probe and time-resolved ion flux probe. The plasma parameters have been measured in a distance of 70 mm from the target face and below the racetrack. The ion flux at the substrate (placed at the same position as the Langmuir probe) has been determined from the voltage drop across a resistor connected with the planar probe. The planar probe was pulsed at a repetition rate of 50 kHz, duty cycle 50%. The effects of working gas pressure and mean discharge current have been investigated.

Název v anglickém jazyce

Time-resolved plasma parameters in the HiPIMS discharge with Ti target in Ar/O2 atmosphere

Popis výsledku anglicky

A High Power Impulse Magnetron Sputtering System(HiPIMS) equipped with a titanium target 5 cm in diameter has been investigated by means of a time-resolved Langmuir probe and time-resolved ion flux probe. The plasma parameters have been measured in a distance of 70 mm from the target face and below the racetrack. The ion flux at the substrate (placed at the same position as the Langmuir probe) has been determined from the voltage drop across a resistor connected with the planar probe. The planar probe was pulsed at a repetition rate of 50 kHz, duty cycle 50%. The effects of working gas pressure and mean discharge current have been investigated.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Svazek periodika

205

Číslo periodika v rámci svazku

2

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

"S317"-"S321"

Kód UT WoS článku

000293258600068

EID výsledku v databázi Scopus

—