Plasma diagnostics in reactive high-power impulse magnetron sputtering system working in Ar + H2S gas mixture

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F20%3A00533973" target="_blank" >RIV/68378271:_____/20:00533973 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216208:11320/20:10413958

Výsledek na webu

<a href="http://hdl.handle.net/11104/0312196" target="_blank" >http://hdl.handle.net/11104/0312196</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.3390/coatings10030246" target="_blank" >10.3390/coatings10030246</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Plasma diagnostics in reactive high-power impulse magnetron sputtering system working in Ar + H2S gas mixture

Popis výsledku v původním jazyce

A reactive high-power impulse magnetron sputtering system (HiPIMS) working in Ar + H2S gas mixture was investigated as a source for the deposition of iron sulfide thin films. As a sputtering material, a pure Fe target was used. Plasma parameters in this system were investigated by a time-resolved Langmuir probe, radio-frequency (RF) ion flux probe, quartz crystal monitor modified for measurement of the ionized fraction of depositing particles, and by optical emission spectroscopy.

Název v anglickém jazyce

Plasma diagnostics in reactive high-power impulse magnetron sputtering system working in Ar + H2S gas mixture

Popis výsledku anglicky

A reactive high-power impulse magnetron sputtering system (HiPIMS) working in Ar + H2S gas mixture was investigated as a source for the deposition of iron sulfide thin films. As a sputtering material, a pure Fe target was used. Plasma parameters in this system were investigated by a time-resolved Langmuir probe, radio-frequency (RF) ion flux probe, quartz crystal monitor modified for measurement of the ionized fraction of depositing particles, and by optical emission spectroscopy.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

20506 - Coating and films

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Coatings

ISSN

2079-6412

e-ISSN

—

Svazek periodika

10

Číslo periodika v rámci svazku

3

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

17

Strana od-do

1-17

Kód UT WoS článku

000524211800051

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85083055184