Dynamic study of dual high-power impulse magnetron sputtering discharge by optical emission imaging
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F11%3A00373838" target="_blank" >RIV/68378271:_____/11:00373838 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1109/TPS.2011.2155674" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1109/TPS.2011.2155674</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1109/TPS.2011.2155674" target="_blank" >10.1109/TPS.2011.2155674</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Dynamic study of dual high-power impulse magnetron sputtering discharge by optical emission imaging
Popis výsledku v původním jazyce
Fast optical emission imaging was employed for dynamic study of dual-high-power impulse magnetron sputtering discharge. The sputtering sources were equipped with reversed polarity of magnets, i.e., so-called closed magnetic field between magnetrons. Plasma is confined in closed magnetic field between targets alternately employed as cathode/anode. This type of magnetic confinement affects the transport of electrons and also the ionization processes of neutral particles present in the plasma, as will be shown in this paper.
Název v anglickém jazyce
Dynamic study of dual high-power impulse magnetron sputtering discharge by optical emission imaging
Popis výsledku anglicky
Fast optical emission imaging was employed for dynamic study of dual-high-power impulse magnetron sputtering discharge. The sputtering sources were equipped with reversed polarity of magnets, i.e., so-called closed magnetic field between magnetrons. Plasma is confined in closed magnetic field between targets alternately employed as cathode/anode. This type of magnetic confinement affects the transport of electrons and also the ionization processes of neutral particles present in the plasma, as will be shown in this paper.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
IEEE Transactions on Plasma Science
ISSN
0093-3813
e-ISSN
—
Svazek periodika
39
Číslo periodika v rámci svazku
11
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
2454-2455
Kód UT WoS článku
000299683400200
EID výsledku v databázi Scopus
—