High power impulse magnetron sputtering of CIGS thin films for high efficiency thin film solar cells

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00435174" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00435174 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

High power impulse magnetron sputtering of CIGS thin films for high efficiency thin film solar cells

Popis výsledku v původním jazyce

In this work CuIn1-xGaxSe2 (CIGS) thin films with three different values of x (0; 0.28; 1) were prepared by nonreactive sputtering of Cu, In and Ga in HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) or DC magnetron and subsequently selenized in an Ar+Seatmosphere. Optical emission spectroscopy (OES) was used to monitor some basic plasma parameters during sputtering of metallic precursors. CIGS thin film characteristics were measured using X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), Raman spectroscopy, energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX) and other techniques.

Název v anglickém jazyce

High power impulse magnetron sputtering of CIGS thin films for high efficiency thin film solar cells

Popis výsledku anglicky

In this work CuIn1-xGaxSe2 (CIGS) thin films with three different values of x (0; 0.28; 1) were prepared by nonreactive sputtering of Cu, In and Ga in HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) or DC magnetron and subsequently selenized in an Ar+Seatmosphere. Optical emission spectroscopy (OES) was used to monitor some basic plasma parameters during sputtering of metallic precursors. CIGS thin film characteristics were measured using X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), Raman spectroscopy, energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX) and other techniques.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/LH12045" target="_blank" >LH12045: Příprava a analýza vlastností tenkovrstvých Cu(In,X)Se2 solárních článků připravovaných metodami plazmatické depozice a sprejového naprašování</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2014

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Plasma Physics and Technology

ISSN

2336-2626

e-ISSN

—

Svazek periodika

1

Číslo periodika v rámci svazku

3

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

3

Strana od-do

135-137

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—