Optical emission spectroscopy of High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) of CIGS thin films

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00439961" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00439961 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1109/PVSC.2014.6925239" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1109/PVSC.2014.6925239</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1109/PVSC.2014.6925239" target="_blank" >10.1109/PVSC.2014.6925239</a>

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Optical emission spectroscopy of High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) of CIGS thin films
Popis výsledku v původním jazyce
CuIn1-xGaxSe2 (CIGS) thin films with x = 0, 0.28 and 1 were prepared by the sputtering of Cu, In and Ga in HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) or DC magnetron and subsequently selenized in an Ar+Se atmosphere. Optical emission spectroscopy (OES) was used to monitor differences in HiPIMS and DC plasma during sputtering of metallic precursors. Thin film characteristics were measured using X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), Raman spectroscopy, energy-dispersive X-rayspectroscopy (EDX) and other techniques.
Název v anglickém jazyce
Optical emission spectroscopy of High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) of CIGS thin films
Popis výsledku anglicky
CuIn1-xGaxSe2 (CIGS) thin films with x = 0, 0.28 and 1 were prepared by the sputtering of Cu, In and Ga in HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) or DC magnetron and subsequently selenized in an Ar+Se atmosphere. Optical emission spectroscopy (OES) was used to monitor differences in HiPIMS and DC plasma during sputtering of metallic precursors. Thin film characteristics were measured using X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), Raman spectroscopy, energy-dispersive X-rayspectroscopy (EDX) and other techniques.

Projekt
<a href="/cs/project/LH12045" target="_blank" >LH12045: Příprava a analýza vlastností tenkovrstvých Cu(In,X)Se2 solárních článků připravovaných metodami plazmatické depozice a sprejového naprašování</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
IEEE Photovoltaic Specialist Conference (PVSC 2014) /40./
ISBN
9781479943982
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
1666-1669
Název nakladatele
IEEE
Místo vydání
New York
Místo konání akce
Denver
Datum konání akce
8. 6. 2014
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)