Deposition of magnesium silicide nanoparticles by the combination of vacuum evaporation and hydrogen plasma treatment
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F15%3A00450104" target="_blank" >RIV/68378271:_____/15:00450104 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68407700:21460/15:00241260
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Deposition of magnesium silicide nanoparticles by the combination of vacuum evaporation and hydrogen plasma treatment
Popis výsledku v původním jazyce
The radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) of the hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) combined with the vacuum evaporation of magnesium followed by the hydrogen plasma treatment has been successfully applied for the in-situdeposition of magnesium silicide nanoparticles embedded in hydrogenated amorphous silicon thin layers. The homogeneous coverage of a-Si:H surface by magnesium silicide nanoparticles with diameter below 10 nm has been confirmed by the scanning electron microscopy (SEM) and Xray photoelectron spectroscopy (XPS).
Název v anglickém jazyce
Deposition of magnesium silicide nanoparticles by the combination of vacuum evaporation and hydrogen plasma treatment
Popis výsledku anglicky
The radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) of the hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) combined with the vacuum evaporation of magnesium followed by the hydrogen plasma treatment has been successfully applied for the in-situdeposition of magnesium silicide nanoparticles embedded in hydrogenated amorphous silicon thin layers. The homogeneous coverage of a-Si:H surface by magnesium silicide nanoparticles with diameter below 10 nm has been confirmed by the scanning electron microscopy (SEM) and Xray photoelectron spectroscopy (XPS).
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
JJAP Conference Proceedings 3
ISBN
978-4-86348-491-7
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
"011301-1"-"011301-5"
Název nakladatele
The Japan Society of Applied Physics
Místo vydání
Tokyo
Místo konání akce
Tokyo
Datum konání akce
19. 7. 2014
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—