Nanosphere lithography for structuring polycrystalline diamond films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F20%3A00533915" target="_blank" >RIV/68378271:_____/20:00533915 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68407700:21110/20:00339190 RIV/00216305:26620/20:PU140232

Výsledek na webu

<a href="http://hdl.handle.net/11104/0312141" target="_blank" >http://hdl.handle.net/11104/0312141</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.3390/cryst10020118" target="_blank" >10.3390/cryst10020118</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Nanosphere lithography for structuring polycrystalline diamond films

Popis výsledku v původním jazyce

This paper deals with the structuring of polycrystalline diamond thin films using the technique of nanosphere lithography. The presented multistep approaches relied on a spin-coated self-assembled monolayer of polystyrene spheres, which served as a lithographic mask for the further custom nanofabrication steps. The size and shape of the lithographic mask was altered using oxygen plasma etching. The periodicity of the final structure was defined by the initial diameter of the spheres. The advantages and limitations of the fabrication technique are discussed. Finally, the potential applications (e.g., photonics, plasmonics) of the obtained nanostructures are reviewed.n

Název v anglickém jazyce

Nanosphere lithography for structuring polycrystalline diamond films

Popis výsledku anglicky

This paper deals with the structuring of polycrystalline diamond thin films using the technique of nanosphere lithography. The presented multistep approaches relied on a spin-coated self-assembled monolayer of polystyrene spheres, which served as a lithographic mask for the further custom nanofabrication steps. The size and shape of the lithographic mask was altered using oxygen plasma etching. The periodicity of the final structure was defined by the initial diameter of the spheres. The advantages and limitations of the fabrication technique are discussed. Finally, the potential applications (e.g., photonics, plasmonics) of the obtained nanostructures are reviewed.n

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Crystals

ISSN

2073-4352

e-ISSN

—

Svazek periodika

10

Číslo periodika v rámci svazku

2

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

14

Strana od-do

1-14

Kód UT WoS článku

000519704700064

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85079621924