Sideways deposition rate and ionized flux fraction in dc and high power impulse magnetron sputtering
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F20%3A00533965" target="_blank" >RIV/68378271:_____/20:00533965 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://doi.org/10.1116/1.5145292" target="_blank" >https://doi.org/10.1116/1.5145292</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1116/1.5145292" target="_blank" >10.1116/1.5145292</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Sideways deposition rate and ionized flux fraction in dc and high power impulse magnetron sputtering
Popis výsledku v původním jazyce
The sideways (radial) deposition rate and ionized flux fraction in a high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) discharge are studied and compared to a dc magnetron sputtering (dcMS) discharge, while the magnetic field strength and degree of balancing are varied.
Název v anglickém jazyce
Sideways deposition rate and ionized flux fraction in dc and high power impulse magnetron sputtering
Popis výsledku anglicky
The sideways (radial) deposition rate and ionized flux fraction in a high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) discharge are studied and compared to a dc magnetron sputtering (dcMS) discharge, while the magnetic field strength and degree of balancing are varied.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Vacuum Science & Technology A : Vacuum, Surfaces and Films
ISSN
0734-2101
e-ISSN
—
Svazek periodika
38
Číslo periodika v rámci svazku
3
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
11
Strana od-do
1-11
Kód UT WoS článku
000529407100003
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85084281981