Tailoring pulsed laser deposition of phosphorus doped WOx films from (PO2)4(WO3)4 target by space-resolved optical emission spectroscopy

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F22%3A00555884" target="_blank" >RIV/68378271:_____/22:00555884 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216208:11310/22:10446914

Výsledek na webu

<a href="https://doi.org/10.1016/j.tsf.2021.139042" target="_blank" >https://doi.org/10.1016/j.tsf.2021.139042</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2021.139042" target="_blank" >10.1016/j.tsf.2021.139042</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Tailoring pulsed laser deposition of phosphorus doped WOx films from (PO2)4(WO3)4 target by space-resolved optical emission spectroscopy

Popis výsledku v původním jazyce

Phosphorus doped WOx films were deposited on fused silica substrates from a target of monophosphate tungsten bronze (PO2)4(WO3)2 m with m = 2. Different conditions of O2 pressures and substrate temperature depositions were performed in parallel to plasma investigations during the depositions step. Changes were observed in the film stoichiometries affecting the film properties while the increase of the O2 pressure. Optical bandgap was shifted from 3.39 eV to 3.86 eV as a function of the deposition pressure from 7.5 Pa to 20 Pa. In situ optical emission spectroscopy was carried out in all the O2 atmosphere conditions.

Název v anglickém jazyce

Tailoring pulsed laser deposition of phosphorus doped WOx films from (PO2)4(WO3)4 target by space-resolved optical emission spectroscopy

Popis výsledku anglicky

Phosphorus doped WOx films were deposited on fused silica substrates from a target of monophosphate tungsten bronze (PO2)4(WO3)2 m with m = 2. Different conditions of O2 pressures and substrate temperature depositions were performed in parallel to plasma investigations during the depositions step. Changes were observed in the film stoichiometries affecting the film properties while the increase of the O2 pressure. Optical bandgap was shifted from 3.39 eV to 3.86 eV as a function of the deposition pressure from 7.5 Pa to 20 Pa. In situ optical emission spectroscopy was carried out in all the O2 atmosphere conditions.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

20506 - Coating and films

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2022

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Thin Solid Films

ISSN

0040-6090

e-ISSN

1879-2731

Svazek periodika

742

Číslo periodika v rámci svazku

Jan

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

139042

Kód UT WoS článku

000784382300002

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85121448996