Advances in RF glow discharge optical emission spectrometry characterization of intrinsic and boron-doped diamond coatings

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F22%3A00561905" target="_blank" >RIV/68378271:_____/22:00561905 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68407700:21230/22:00354623

Výsledek na webu

<a href="https://doi.org/10.1021/acsami.1c20785" target="_blank" >https://doi.org/10.1021/acsami.1c20785</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1021/acsami.1c20785" target="_blank" >10.1021/acsami.1c20785</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Advances in RF glow discharge optical emission spectrometry characterization of intrinsic and boron-doped diamond coatings

Popis výsledku v původním jazyce

Accurate determination of the effective doping range within diamond thin films is important for fine-tuning of electrical conductivity. Nevertheless, it is not easily attainable by the commonly adopted techniques. In this work, pulsed RF glow discharge optical emission spectrometry (GD-OES) combined with ultrafast sputtering (UFS) is applied for the first time to acquire elemental depth profiles of intrinsic diamond coatings and boron content bulk distribution in films. The GD-OES practical advances presented here enabled quick elemental profiling with noteworthy depth resolution and determination of the film interfaces. The erosion rates and layer thicknesses were measured using differential interferometric profiling (DIP), demonstrating a close correlation between the coating thickness and the carbon/hydrogen gas ratio.

Název v anglickém jazyce

Advances in RF glow discharge optical emission spectrometry characterization of intrinsic and boron-doped diamond coatings

Popis výsledku anglicky

Accurate determination of the effective doping range within diamond thin films is important for fine-tuning of electrical conductivity. Nevertheless, it is not easily attainable by the commonly adopted techniques. In this work, pulsed RF glow discharge optical emission spectrometry (GD-OES) combined with ultrafast sputtering (UFS) is applied for the first time to acquire elemental depth profiles of intrinsic diamond coatings and boron content bulk distribution in films. The GD-OES practical advances presented here enabled quick elemental profiling with noteworthy depth resolution and determination of the film interfaces. The erosion rates and layer thicknesses were measured using differential interferometric profiling (DIP), demonstrating a close correlation between the coating thickness and the carbon/hydrogen gas ratio.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2022

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

ACS Applied Materials and Interfaces

ISSN

1944-8244

e-ISSN

1944-8252

Svazek periodika

14

Číslo periodika v rámci svazku

5

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

12

Strana od-do

7405-7416

Kód UT WoS článku

000757775400001

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85124156495