Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Modelling of low energy ion sputtering from oxide surfaces

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F10%3A00168118" target="_blank" >RIV/68407700:21230/10:00168118 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Modelling of low energy ion sputtering from oxide surfaces

  • Popis výsledku v původním jazyce

    The main aim of this work is to present a way to estimate the values of surface binding energy for oxides. This is done by fitting results from the binary collisions approximation code Tridyn with data from the reactive sputtering processing curves, as well as the elemental composition obtained from x-ray photoelectron spectroscopy (XPS). Oxide targets of Al, Ti, V, Nb and Ta are studied. The obtained surface binding energies are then used to predict the partial sputtering yields. Anomalously high sputtering yield is observed for the TiO 2 target. This is attributed to the high sputtering yield of Ti lower oxides. Such an effect is not observed for the other studied metals. XPS measurement of the oxide targets confirms the formation of suboxides duringion bombardment as well as an oxygen deficient surface in the steady state. These effects are confirmed from the processing curves from the oxide targets showing an elevated sputtering rate in pure argon.

  • Název v anglickém jazyce

    Modelling of low energy ion sputtering from oxide surfaces

  • Popis výsledku anglicky

    The main aim of this work is to present a way to estimate the values of surface binding energy for oxides. This is done by fitting results from the binary collisions approximation code Tridyn with data from the reactive sputtering processing curves, as well as the elemental composition obtained from x-ray photoelectron spectroscopy (XPS). Oxide targets of Al, Ti, V, Nb and Ta are studied. The obtained surface binding energies are then used to predict the partial sputtering yields. Anomalously high sputtering yield is observed for the TiO 2 target. This is attributed to the high sputtering yield of Ti lower oxides. Such an effect is not observed for the other studied metals. XPS measurement of the oxide targets confirms the formation of suboxides duringion bombardment as well as an oxygen deficient surface in the steady state. These effects are confirmed from the processing curves from the oxide targets showing an elevated sputtering rate in pure argon.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/GAP108%2F10%2F0218" target="_blank" >GAP108/10/0218: Pokročilé self-adaptivní povlaky s nízkým třením na bázi dichalkogenidů přechodových kovů s uhlíkem</a><br>

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2010

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Journal of Physics D: Applied Physics

  • ISSN

    0022-3727

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    43

  • Číslo periodika v rámci svazku

    20

  • Stát vydavatele periodika

    GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

  • Počet stran výsledku

    6

  • Strana od-do

  • Kód UT WoS článku

    000277373400012

  • EID výsledku v databázi Scopus