Thin-Film Thickness Determination from a Spectral Reflectance Measurement by Using an Alternative Envelope Method
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F09%3A00164958" target="_blank" >RIV/68407700:21340/09:00164958 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Thin-Film Thickness Determination from a Spectral Reflectance Measurement by Using an Alternative Envelope Method
Popis výsledku v původním jazyce
An alternative method for determination of the thickness of a thin film on a substrate was developed. A linear relation between the thin-film thickness and the wavelength of the reflectance spectrum tangent to the envelope function for specific interference order was revealed in a wide wavelength range. This relation enables the calculation of the film thickness if the spectrally-dependent optical parameters of the thin film and the substrate are known.
Název v anglickém jazyce
Thin-Film Thickness Determination from a Spectral Reflectance Measurement by Using an Alternative Envelope Method
Popis výsledku anglicky
An alternative method for determination of the thickness of a thin film on a substrate was developed. A linear relation between the thin-film thickness and the wavelength of the reflectance spectrum tangent to the envelope function for specific interference order was revealed in a wide wavelength range. This relation enables the calculation of the film thickness if the spectrally-dependent optical parameters of the thin film and the substrate are known.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2009
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Development of Materials Science in Research and Education
ISBN
978-80-89088-81-2
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
—
Název nakladatele
Slovak Expert Group of Solid State Chemistry and Physics
Místo vydání
Bratislava
Místo konání akce
Závažná Poruba
Datum konání akce
31. 8. 2009
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—