Nanoscale imaging using a compact laser plasma EUV source
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F12%3A00204160" target="_blank" >RIV/68407700:21340/12:00204160 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://proceedings.aip.org/resource/2/apcpcs/1437/1/79_1?isAuthorized=no" target="_blank" >http://proceedings.aip.org/resource/2/apcpcs/1437/1/79_1?isAuthorized=no</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.3703347" target="_blank" >10.1063/1.3703347</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Nanoscale imaging using a compact laser plasma EUV source
Popis výsledku v původním jazyce
High resolution imaging methods and techniques are currently under development. One of them is an extreme ultraviolet (EUV) microscopy, based on Fresnel zone plates. In this paper a compact, high-repetition, laser-plasma EUV source, emitting quasi-monochromatic radiation at 13.8nm wavelength was used in a desktop EUV transmission microscopy with a spatial (half-pitch) resolution of 50nm. EUV microscopy images of objects with various thicknesses and the spatial resolution measurements using the knife-edge test are presented. 2012 American Institute of Physics.
Název v anglickém jazyce
Nanoscale imaging using a compact laser plasma EUV source
Popis výsledku anglicky
High resolution imaging methods and techniques are currently under development. One of them is an extreme ultraviolet (EUV) microscopy, based on Fresnel zone plates. In this paper a compact, high-repetition, laser-plasma EUV source, emitting quasi-monochromatic radiation at 13.8nm wavelength was used in a desktop EUV transmission microscopy with a spatial (half-pitch) resolution of 50nm. EUV microscopy images of objects with various thicknesses and the spatial resolution measurements using the knife-edge test are presented. 2012 American Institute of Physics.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/LA08024" target="_blank" >LA08024: Výzkum v rámci Mezinárodního centra hustého magnetizovaného plazmatu</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
AIP Conference Proceedings
ISBN
978-0-7354-1027-5
ISSN
0094-243X
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
79-82
Název nakladatele
American Institute of Physic
Místo vydání
Austin
Místo konání akce
Campinas
Datum konání akce
5. 9. 2011
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—